普渡大學自我校正MEMS電感測器提供更靈敏的感測能力

Chevelle Fu
Chevelle Fu
2010年08月14日, 早上 06:00
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MEMS Sensor微機電感測器對現在的電子產品而言已經不是新產物,MEMS感測器是把類比的感測器直接結合電路元件透過半導體製成生產的產物,藉此縮小透過傳統工藝難以縮小的感測器,舉凡智慧手機、汽車、遊戲機內都可看到這類的產品,不過普渡大學的Jason Vaughn Clark要讓MEMS感測器再次革新,他聲稱已經開發出一套結合Electro micro metrology(EMM)的工藝製程,可讓感測器進行自我校正,提供更精確的感測能力,這也是業界首個不需要透過外部裝置的自我校正MEMS感測器架構。普渡大學認為這項技術有助於犯罪蒐證、環境檢測與醫療診斷提供更好的效果。
標籤: mems, Purdue, sensor
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